发明名称 Method of forming contact hole for semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100618794(B1) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 KR19990056568 申请日期 1999.12.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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