发明名称 |
一种曝光掩模板的固定方法 |
摘要 |
本发明涉及一种曝光掩模板的固定方法。其特点是,该方法步骤为:第一:玻璃板底部放置曝光掩模板,曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合;第二:在玻璃板的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根管子,并将管子和玻璃板密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。采用管子一端与玻璃板密封连接,另一端与抽真空装置相连,在生产过程中,始终保持抽真空状态,即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域,即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形,曝光掩模板也不会下垂,有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。 |
申请公布号 |
CN1828423A |
申请公布日期 |
2006.09.06 |
申请号 |
CN200510029208.7 |
申请日期 |
2005.08.30 |
申请人 |
上海海晶电子有限公司 |
发明人 |
孙明 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
上海申汇专利代理有限公司 |
代理人 |
吴宝根 |
主权项 |
1.一种曝光掩模板的固定方法,其特征在于,该方法步骤为:第一:玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2),曝光掩模板(2)通过四周的胶带(1)与玻璃板(3)紧密贴合;第二:在玻璃板(3)的边缘处打一个小孔;第三:在小孔处装一根管子(4),并将管子(4)和玻璃板(3)密封连接;第四:再将管子的另一端与抽真空装置连接;第五:启动抽真空装置,玻璃板(3)和曝光掩模板(2)之间形成一个真空区域。 |
地址 |
201613上海市松江区美能达路503号 |