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发明名称 HIGH RATE MIXER AND MIXING METHOD FOR SLURRY
摘要
申请公布号 KR100623493(B1) 申请公布日期 2006.09.06
申请号 KR20050028115 申请日期 2005.04.04
申请人 PLUSTECH CO., LTD. 发明人 HAN, YOON WON
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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