微机电系统器件材料参数在线测试分析装置及方法

摘要

微机电系统器件材料参数在线测试分析装置及方法是一种用于在线测量微机电系统器件材料参数的测试分析方法与装置，通过采用电激励与电参数测量并通过分析系统对材料参数进行在线提取，通过对MEMS器件材料参数测试结构施加直流、交流和瞬态电压或电流，迫使测试结构产生相应的动作，如水平方向或竖直方向的位移、振动、断裂、短路、发热、膨胀，同时发生电参量的变化，如电流、电阻、电压、电容改变，通过测试这些参量的变化，根据参数计算模型编制的计算软件将所需要掌握的材料参数：电阻、压阻、杨氏模量、残余应力、断裂强度、热膨胀率、热传导率，热扩散率等提取获得。可以直接在工艺环境下进行在线测试，不需要复杂的测试设备及苛刻的测试环境。

主权项

1.一种微机电系统器件材料参数在线测试装置，其特征在于该装置包括硅结构组芯片(1)、测试探针组(2)、接线台(3)、测试输入输出信号放大、衰减电路(4)、数据采集卡(5)；硅结构组芯片(1)的输入/输出端通过测试探针组(2)与接线台(3)相连接，接线台(3)的输出端接测试输入输出信号放大、衰减电路(4)，测试输入输出信号放大、衰减电路(4)的输出端接数据采集卡(5)，由计算机通过专门设计的处理程序输出测试结果。