磁驱动或热磁混合驱动微型电场传感器

摘要

一种磁驱动或热磁混合驱动的微型电场传感器，采用洛仑兹力驱动或采用热应力与洛仑兹力共同驱动屏蔽电极，在水平方向上振动，使传感器重量轻、响应速度快、易于集成；其测量的电流信号采用差分方式输出。本发明的驱动结构紧凑，占用芯片面积很少，可提高正负感应电极的面积，由于基于电荷感应式的电场传感器检测电流信号与屏蔽电极的工作频率和感应电极面积的乘积成正比，磁驱动微型电场传感器驱动频率很高，感应电极面积大，对提高微型电场传感器的检测灵敏度极为有利；热磁混合驱动微型电场传感器在工艺上更简单，可用目前国际上若干代工厂的工艺条件进行加工，其驱动电压很小，驱动电流在毫安量级，能够采用标准的CMOS电路作为激励信号源。

主权项

1.一种磁驱动或热磁混合驱动的微型电场传感器，其特征在于，采用洛仑兹力驱动或采用热应力与洛仑兹力共同驱动屏蔽电极，在水平方向上振动，使传感器具有体积小、重量轻、响应速度快、易于集成的特点；其测量的电流信号采用差分方式输出，提高了电场检测信号的信噪比与灵敏度。