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发明名称 APPARATUS FOR AN ALIGNMENT OF SUBSTRATES AND SHADOW MASKS
摘要
申请公布号 KR100622931(B1) 申请公布日期 2006.09.05
申请号 KR20050080443 申请日期 2005.08.31
申请人 YAS CO., LTD. 发明人 JEONG, KWANG HO;KIM, SEONG MOON;CHOI, MYUNG WOON;CHOI, JIN MOON
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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