DIRECT BURN-WET SCRUBBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE EQUIPMENT,申请号KR20050081838-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DIRECT BURN-WET SCRUBBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE EQUIPMENT
摘要
申请公布号	KR100623368(B1)	申请公布日期	2006.09.05
申请号	KR20050081838	申请日期	2005.09.02
申请人	CLEAN SYSTEMS KOREA, INC.	发明人	LEE, SANG KEUN
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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