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发明名称
ELECTROSTATIC CHUCK HAVING A UNIDIRECRTIONALLY CONDUCTING COUPLER LAYER
摘要
申请公布号
KR100553480(B1)
申请公布日期
2006.08.30
申请号
KR19980010679
申请日期
1998.03.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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