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发明名称 MEMS SWITCH AND MANUFACTURING METHOD OF IT
摘要
申请公布号 KR100620958(B1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20050064337 申请日期 2005.07.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HONG, YOUNG TACK;KIM, JUN O;SONG, IN SANG;LEE, SANG HUN;KWON, SANG WOOK;JEONG, HEE MOON;KIM, JONG SEOK;KIM, CHE HEUNG
分类号 H01L29/00 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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