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发明名称 INTERCONNECTIONS INCLUDING MULTI-LAYER METAL FILM STACK FOR IMPROVING CORROSION AND HEAT RESISTANCES
摘要
申请公布号 KR100618361(B1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20030080244 申请日期 2003.11.13
申请人 发明人
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/786 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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