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发明名称
摘要
申请公布号
JP3815455(B2)
申请公布日期
2006.08.30
申请号
JP20030098968
申请日期
2003.04.02
申请人
发明人
分类号
H01L23/12;H01S5/022
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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