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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING A SUBSTRATE TRANSPORT WITH A FRONT END EXTENSION AND AN INTERNAL SUBSTRATE BUFFER
摘要
申请公布号 KR100618355(B1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20007000321 申请日期 2000.01.11
申请人 发明人
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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