发明名称 用于半导体测试的方法和装置
摘要 本发明公开了一种半导体测试系统,包括:输入器;显示器;多个测试单元;存储器,其中存储了指定所述测试单元的操作过程的多个应用和与所述应用相关的多个分类;和控制器,其具有以下功能:显示所述分类,将与基于来自所述输入器的输入选择的分类相关的应用显示在所述显示器上,和执行由所述输入器从所显示的应用中选择的所述应用,并控制所述测试单元等。
申请公布号 CN1825129A 申请公布日期 2006.08.30
申请号 CN200610007472.5 申请日期 2006.02.14
申请人 安捷伦科技有限公司 发明人 石塚好司
分类号 G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2006.01)
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 柳春雷
主权项 1.一种半导体测试系统,包括:输入器,显示器,多个测试单元,存储器,其中存储了指定所述测试单元的操作过程的多个应用和与所述多个应用相关的多个分类,和控制器,用于执行所述应用和控制所述测试单元,其中所述控制器包括:基于来自所述输入器的输入选择一个或多个分类;选择与所述分类相关的所述应用并将所选择的应用显示在所述显示器上;基于来自所述输入器的输入而从所显示的应用中选择所要执行的所述应用;和使用所述测试单元执行测试。
地址 美国加利福尼亚州