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发明名称 SCANNING HEAD FOR OPTICAL POSITIONAL MEASURING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1695391(A1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 EP20040763589 申请日期 2004.07.29
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 SPECKBACHER, PETER;WEIDMANN, JOSEF;EISELE, CHRISTOPHER;MAYER, ELMAR;BURGSCHAT, REINER
分类号 H01L31/105;G01D5/347 主分类号 H01L31/105
代理机构 代理人
主权项
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