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发明名称 METHOD TO REDUCE SEEDLAYER TOPOGRAPHY IN BICMOS PROCESS
摘要
申请公布号 EP1695380(A1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 EP20040801525 申请日期 2004.12.09
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DONKERS, JOHANNES J.T.M.;MAGNEE, PETRUS, H., C.;KUNNEN, EDDY;NEUILLY, FRANCOIS, I.
分类号 H01L21/8249;H01L21/331 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
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