发明名称 A novel fluorescent and photoemission apparatus and method for submicron ic failure analysis
摘要
申请公布号 SG124365(A1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 SG20060000280 申请日期 2006.01.17
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD. 发明人 MIN WU ZONG;KHIAM OH CHONG;SIN CHEONG LIP;REDKAR SHAILESH
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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