发明名称 Sputtering Cathode for Coating Processes
摘要
申请公布号 KR100616327(B1) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20050004451 申请日期 2005.01.18
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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