固态成像器件及其驱动方法和照相装置

摘要

本发明公开了固态成像器件及其驱动方法和照相装置。在采用在衬底后表面侧上形成p+层以便防止从硅边界表面产生暗电流的结构的情形中，出现了各种问题。根据本发明，在硅衬底(31)的后表面上提供有绝缘薄膜(39)，并且在其上还提供有透明电极(40)，并且通过将相对于硅衬底(31)的电势的负电压从电源(41)通过透明电极(40)施加到绝缘薄膜(39)，空穴在衬底后表面侧的硅边界表面上被累积，从而创建了与其中在前述硅边界表面上存在空穴累积层的状态等价的结构。从而可以避免相关技术中的各种问题。

主权项

1.一种固态成像器件，在半导体衬底的第一表面侧上具有配线层，包括光电转换元件的像素形成在所述衬底上，并且所述固态成像器件自作为所述配线层的相反侧的第二表面侧接收入射光，所述固态成像器件包括：绝缘薄膜，形成在所述半导体衬底的第二表面上；以及电压施加装置，用于将与所述半导体衬底的电势极性相反的电压施加到所述绝缘薄膜。