电磁扫描微镜以及使用其的光学扫描装置

摘要

本发明公开的是用于光学扫描装置的电磁扫描微镜。电磁扫描微镜被设计以通过使用电磁力反射输入光束，该电磁扫描微镜可执行旋转操作，以实现反射光束路径的调制。电磁扫描微镜包括提供磁场的磁场发生器，具有反射面和附于反射面后表面的框架结构的镜板，围绕镜板的基片，连接镜板和基片的扭力杆对，以及在镜板反射面的后表面提供的磁性物质，其适于通过和从磁场发生器产生的磁场的相互作用产生驱动力。利用磁性物质产生的驱动力，镜板执行环绕定义了镜板的旋转轴的扭力杆的旋转操作。

主权项

1.一种电磁扫描微镜，其包括：磁场发生器，其用于提供磁场；镜板，其具有发射面和附于反射面后表面的框架结构；基片，其围绕镜板；扭力杆对，其连接镜板和基片；以及磁性物质，其被在镜板的反射面后表面提供，且适于通过和从磁场发生器产生的磁场相互作用而产生驱动力，其中，利用从磁性物质产生的驱动力，镜板围绕定义了镜板的旋转轴的扭力杆执行旋转操作。