发明名称 ALIGNMENT DEVICE FOR PROTECTIVE ELECTROSTATIC CHUCK IN DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060094572(A) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20050015670 申请日期 2005.02.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SEONG JUN
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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