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发明名称 NOZZLE ASSEMBLY FOR HIGH DENSITY PLASMA EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060094570(A) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 KR20050015668 申请日期 2005.02.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SEONG JUN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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