外观检查用投光装置

摘要

本发明的外观检查用投光装置，其包括：照明光源；将来自该照明光源的光向被检查部件反射的反射光学系统；以及配置在该反射光学系统的反射光路上的聚光光学系统；所述聚光光学系统至少被分成2个部分，通过来自这些被分割的各聚光光学系统的照明光束能够照射所述被检查部件的整个表面。

主权项

1.一种外观检查用投光装置，其是被用于在大型基板的表面照射聚束光以对基板整面进行外观检查的外观检查装置的，其特征在于包括：对所述大型基板的表面进行照明的多个照明光源；多个反射镜，其被设置在所述各照明光源和所述大型基板之间，使来自所述各照明光源的照明光向所述大型基板反射；以及多个菲涅耳透镜，其在所述各反射镜和所述大型基板之间的反射光路中被配置多个，并使来自所述各照明光源的所述照明光聚束而照射所述大型基板的表面，使所述各菲涅耳透镜以相互邻接的侧缘为中心倾斜，以便来自所述各菲涅耳透镜的各聚光束的一部分在所述大型基板上相互重叠。