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发明名称 Probe testing structure
摘要 A calibration structure for probing devices.
申请公布号 GB2423588(A) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 GB20060008025 申请日期 2004.09.15
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 TIMOTHY E LESHER
分类号 G01R35/00;G01R;G01R1/067;G01R27/02;G01R27/04;G01R29/26;G01R31/02;G01R31/26;G01R31/28;G01R33/12;H01L23/58;H01L29/80;H01L31/112;H01P1/00;H01P1/16;H01P3/08 主分类号 G01R35/00
代理机构 代理人
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