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发明名称 Method for preventing an increase in contact hole width during contact formation
摘要
申请公布号 GB2423635(A) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 GB20060008285 申请日期 2004.10.08
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 DAWN M HOPPER;HIROYUKI KINOSHITA;CHRISTY WOO
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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