凸起检查装置以及方法

摘要

本发明涉及一种凸起检查装置以及方法，形状检出部，从由CCD照相机取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像。检查区域设定部，在目标图像的区域中，将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定。主图像存储部，存储成为检查的基准的主图像。比较检查部，针对由检查区域设定部设定的检查区域，比较目标图像与主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。

主权项

1.一种凸起检查装置，检查形成在基板上的凸起，其特征在于，具有：拍摄部，其对上述基板进行拍摄；形状检出部，其从由上述拍摄部取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；检查区域设定部，其在上述目标图像的区域中，将至少包含由上述形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；主图像存储部，其存储成为检查的基准的主图像；比较检查部，其针对由上述检查区域设定部设定的检查区域，比较上述目标图像与上述主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。