发明名称 WAFER CONTAINER WITH DOOR ACTUATED WAFER RESTRAINT
摘要
申请公布号 EP1694585(A2) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 EP20040811236 申请日期 2004.11.16
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 BURNS, JOHN;FULLER, MATTHEW,A.;KING, JEFFERY,J.;FORBES, MARTIN, L.;SMITH, MARK, V.
分类号 H01L21/68;B65D51/26;B65D85/30;H01L21/673 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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