| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD TO CONTROL RADIAL DELTA TEMPERATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1328966(A4) |
申请公布日期 |
2006.08.30 |
| 申请号 |
EP20020707964 |
申请日期 |
2002.03.08 |
| 申请人 |
ASML US, INC. |
发明人 |
PORTER, COLE;STARNER, ALAN |
| 分类号 |
H01L21/22;F27B17/00;F27D19/00;F27D21/00;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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