发明名称
摘要
申请公布号 JP3816056(B2) 申请公布日期 2006.08.30
申请号 JP20020573338 申请日期 2002.03.12
申请人 发明人
分类号 B65G49/05;G11B7/26;B65G49/07;C23C14/56;G11B5/84;G11B17/08;G11B17/22;G11B23/00;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 B65G49/05
代理机构 代理人
主权项
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