PLASMA PROCESSING APPARATUS,申请号KR20050015541-传众专利搜索

发明名称	PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20060094408(A)	申请公布日期	2006.08.29
申请号	KR20050015541	申请日期	2005.02.24
申请人	ADP ENGINEERING CO., LTD.	发明人	LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;KIM, CHUN SIK
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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