发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING METAL LINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060094322(A) 申请公布日期 2006.08.29
申请号 KR20050015389 申请日期 2005.02.24
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 CHO, IHL HYUN;MIN, BYUNG SEUNG
分类号 H01L21/28;H01L21/314 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址