发明名称 A DISCHARGE TUBE OF THE OZONE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060094443(A) 申请公布日期 2006.08.29
申请号 KR20050017839 申请日期 2005.03.03
申请人 LEE, GEON BUM;KIM, YUN GYEONG;PARK, IN JAE 发明人 LEE, GEON BUM;KIM, YUN GYEONG;PARK, IN JAE
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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