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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF TEMPERATURE REGULATION PLATE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060094407(A) 申请公布日期 2006.08.29
申请号 KR20050015540 申请日期 2005.02.24
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;LEE, CHANG KEUN
分类号 H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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