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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR100616293(B1) 申请公布日期 2006.08.28
申请号 KR20000063958 申请日期 2000.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B65G49/07;G03D5/00;H01L21/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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