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发明名称
METHOD FOR FORMING A SILICON-CONTAINING FILM
摘要
申请公布号
KR20060094026(A)
申请公布日期
2006.08.28
申请号
KR20060014512
申请日期
2006.02.15
申请人
SONY CORPORATION
发明人
KAINO YURIKO;KAMEI TAKAHIRO
分类号
C01B33/00;C01B33/04
主分类号
C01B33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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