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发明名称 PLASMA GENERATION APPARATUS AND PLASMA IGNITION METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060093490(A) 申请公布日期 2006.08.25
申请号 KR20050014360 申请日期 2005.02.22
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 KWON, GI CHUNG;LEE, SANG WON;UHM, SAE HOON;KIM, JAE HYUN;HONG, BO HAN;LEE, YONG KWAN
分类号 H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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