发明名称 SPIN-COATING DEVICE AND METHOD OF PRODUCING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100616021(B1) 申请公布日期 2006.08.25
申请号 KR20057000278 申请日期 2005.01.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;B05B15/04;B05C11/08;B05C11/10;B05D1/00;B05D1/32;B05D1/40;B05D3/10;B05D7/00;G11B7/26 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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