发明名称 HEATER UNIT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100615737(B1) 申请公布日期 2006.08.25
申请号 KR20040009682 申请日期 2004.02.13
申请人 发明人
分类号 H05B3/20;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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