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发明名称
摘要
申请公布号 JP2006519315(A) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 JP20060508792 申请日期 2004.02.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C16/00;H01C17/00;H01J;H01J37/34;H01L21/02;H01L21/203;H01R9/00;H05B3/08;H05B3/68;H05B6/36;H05B31/26 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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