METHOD FOR TRIMMING THE RESISTANCE OF AN ELECTRICAL RESISTOR BY ABRADING SHORTING JUMPERS, AND AN ELECTRICAL RESISTOR THAT CAN BE ABRADED BY THIS METHOD AND THE USE THEREOF IN A TEMPERATURE SENSOR OR GAS SENSOR

摘要

Es wird ein Verfahren zum Abgleichen des Widerstandswertes eines in einem Schichtverbund eingebetteten, elektrischen Widerstands auf einen Vorgabewert angegeben, bei dem der Vorgabewert durch nachträgliches Vergrößern des gefertigten Istwiderstandswertes eingestellt wird. Zur Erzielung eines fertigungstechnisch vorteilhaften Verfahrens wird im Schichtverbund der Widerstand (20) aufgeteilt auf einen Hauptwiderstand (21) mit einem bezogen auf den Vorgabewert kleineren Widerstandswert und auf eine Mehrzahl von mit dem Hauptwiderstand (21) in Reihe geschalteten Abgleichwiderständen (22) mit jeweils definierten Widerstandswerten hergestellt. Die Abgleichwiderstände (22) werden mit Kurzschlussbrücken (29) überbrückt, die bis nahe mindestens einer Kante (29, 30, 31) des Schichtverbunds geführt werden. Zur Vergrößerung des Widerstandswertes auf den Vorgabewert werden ausgewählte Kurzschlussbrücken (28) durch Abschleifen der mindestens einen Kante (29, 30, 31) des Schichtverbundes aufgetrennt.