发明名称 Verfahren zur Herstellung optischer Schichten
摘要
申请公布号 DE60213038(D1) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 DE20026013038 申请日期 2002.05.30
申请人 DALSA SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OUELLET, LUC;LACHANCE, JONATHAN;GRONDIN, MANUEL;BLAIN, STEPHANE
分类号 C23C16/54;G02B6/13;C03B19/14;C03C17/245;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/52;G02B1/10;G02B6/10 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
地址