发明名称 Procedure and equipment for the automatic focussing of the charge carrier beam in devices for the working of materials by means of a charge carrier beam
摘要
申请公布号 GB959430(A) 申请公布日期 1964.06.03
申请号 GB19620042582 申请日期 1962.11.12
申请人 CARL ZEISS-STIFTUNG 发明人
分类号 B23K15/00;H01J37/21 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
地址