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发明名称 ROTATABLE INJECTOR
摘要
申请公布号 KR20060093166(A) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 KR20050013968 申请日期 2005.02.21
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 MIN, CHI HOON;LEE, SANG GON;LEE, SANG DON
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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