发明名称 Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren von Wafern
摘要
申请公布号 DE10157452(B4) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 DE20011057452 申请日期 2001.11.23
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHNEIDER, GERMAR
分类号 B24B57/02;H01L21/302;B24B37/04;B24B49/12;G01N1/20;G01N21/31;G01N21/69;H01L21/304;H01L21/66 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
主权项
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