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经营范围
发明名称
Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren von Wafern
摘要
申请公布号
DE10157452(B4)
申请公布日期
2006.08.24
申请号
DE20011057452
申请日期
2001.11.23
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
SCHNEIDER, GERMAR
分类号
B24B57/02;H01L21/302;B24B37/04;B24B49/12;G01N1/20;G01N21/31;G01N21/69;H01L21/304;H01L21/66
主分类号
B24B57/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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