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发明名称 VERFAHREN ZUR PHOTOLACKBESCHICHTUNG AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60024227(T2) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 DE20006024227T 申请日期 2000.01.03
申请人 STEAG RTP SYSTEMS, INC. 发明人 THAKUR, P.
分类号 G03F7/16;B05D1/02;B05D1/40;B05D3/06;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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