一体化微流体泵

摘要

一体化微流体泵，属于生物医学微流体元器件，集流体驱动、混合，化学反应多功能为一体，以使得微分析系统结构简化，降低成本。本实用新型包括硅基片和与其键合的封底玻璃片，硅基片上采用光刻方法制备泵腔及与其连通的两个进口扩散管通道、一个出口扩散管通道；硅基片的表面开有液体进水孔和液体出水孔，分别与两个进口扩散管通道及出口扩散管通道的末端连通；硅基片表面正对泵腔位置粘贴有压电片；封底玻璃片泵腔位置粘贴有电加热金属片。本实用新型让生物溶液和化学试剂溶液在流动经过微泵泵腔的同时，完成混合和化学反应，从而省去单独的混合反应腔结构，这使得微分析系统结构大为简化，成本可望降低20％～30％，并具有更好的工作可靠性。

主权项

1.一体化微流体泵，包括硅基片和与其键合的封底玻璃片，其特征在于所述硅基片上采用光刻方法制备泵腔及与其连通的两个进口扩散管通道、一个出口扩散管通道；硅基片的表面开有液体进水孔和液体出水孔，分别与两个进口扩散管通道及出口扩散管通道的末端连通；硅基片表面正对泵腔位置粘贴有压电片；封底玻璃片泵腔位置粘贴有电加热金属片。