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发明名称
APPARATUS FOR REPAIRING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060092327(A)
申请公布日期
2006.08.23
申请号
KR20050013015
申请日期
2005.02.17
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KIM, BYUNG KOOK
分类号
H01L21/82;H01L21/66
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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