电子发射器件和电子源及其成象装置的制造方法

摘要

一种制造电子发射器件和电子源及其成象装置的方法，包括(a)一个用于在基片上安置多个导电膜的步骤；(b)一个用于以预定的间隔多次把电压施加到所述导电膜上的增能步骤，借此在所述导电膜中形成一个缝隙，其中所述增能步骤是在一种含有活性物质的气氛中，或一种含有用于促进导电膜粘合的物质的气氛中，进行的；和在所述增能步骤，在一个把电压加到所述导电膜之一上的间隔期间，把电压加到所述导电膜中的另一个膜上，按照上述方法制造的电子发射器件可稳定均匀工作。

主权项

1.一种制作具有多个电子发射器件(74)的电子源的方法，每一个电子发射器件具有在导电薄膜(3)中形成的电子发射区(2)，其中所述多个电子发射器件按照多个行Dox1-Doxm来设置，各行具有公共连接的各自的多个电子发射器件(74)，该方法包括以下步骤：提供基片(71)，该基片上具有按照多个行Dox1-Doxm来设置及连接的各自的导电薄膜(3)；在含有用于促进导电薄膜粘合的物质的气氛中，或者在还原气氛中，对各个所述导电薄膜施加具有以预定的脉冲间隔T2隔开的预定脉冲宽度T1的脉冲的脉冲电压，以按如下方式在逐行的基础上增能形成：在将脉冲施加到从所述多个行Dox1-Doxm中选择的特定行之后，选择与该特定行不同的另一行，并将脉冲施加到该另一行，直到所有的行经受该脉冲电压。