光波导、光模块及其制造方法

摘要

本发明的光模块包括第一衬底1，第二衬底2，PD3，LD4，和光纤5。第一衬底1上形成了第一光波导芯1c。第二衬底2上形成了第二光波导芯2c。第一光波导芯1c和第二光波导芯2c在第一衬底1和第二衬底2相粘接的地方形成光学连接区。LD4能够发射光信号，传播经过第二光波导芯2c，到达光纤5。PD3能够接收从光纤5进入第一光波导芯2c、然后通过第一光波导芯1c和第二光波导芯2c之间的光学连接区并从第一光波导芯1c中经过的光信号。

主权项

1.一种使光信号分路或耦合光信号的光波导，其特征在于，它包括：第一衬底，在所述第一衬底中有第一光波导芯，且第一光波导芯平行于第一衬底的底面；以及第二衬底，在所述第二衬底中有第二光波导芯，且第二光波导芯平行于第二衬底的顶面，其中，通过将第一衬底的底面和第二衬底的顶面粘接在一起使它们相互重叠，在第一和第二光波导芯之间形成光学连接区，第一和第二光波导芯彼此部分地相连；所述第一光波导芯是通过将第一种高折射率材料注入到平行于第一衬底底面的第一凹槽中形成的；所述第二光波导芯是通过将第二种高折射率材料注入到平行于第二衬底顶面的第二凹槽中形成的；并且第一衬底底面和第二衬底顶面由第三种高折射率材料粘接在一起。