发明名称 具有深槽电荷补偿区的半导体器件及方法
摘要 在一个实施方案中,一半导体器件形成在半导体材料体中。该半导体器件包括一电荷补偿槽,该电荷补偿槽形成在邻近该器件的有源部分。电荷补偿槽包括一个槽,该槽被填以相反导电类型的层的各种半导体层。
申请公布号 CN1822389A 申请公布日期 2006.08.23
申请号 CN200510022820.1 申请日期 2005.12.08
申请人 半导体元件工业有限责任公司 发明人 加里·H·莱厄切尔特;彼得·J·兹德贝尔;戈登·M·格里芙娜
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 秦晨
主权项 1.一种半导体器件,包括:一半导体材料体;以及一电荷补偿区,包括一个在该半导体材料体中形成的槽,其中该槽被填以相反导电类型的半导体层。
地址 美国亚利桑那