用于转换激光束的装置以及激光加工装置

摘要

本发明提供一种转换装置，用于选择性地将线性偏振的输入激光光束(110a)转换成第一输出激光光束(130a)或第二输出激光光束(160a)。该转换装置包括初级光学转换元件，其具有用于有目的地旋转输入激光光束(110a)的偏振方向的初级光学元件(EOM)和串接的、根据其偏振方向将输入激光光束导向第一光路(120a)或第二光路(150a)的初级偏振相关反射器(R)。在两个光路中的每一个(120a或150a)中，设置另一光学转换元件，其包括用于有目的地旋转相应激光光束(120b或150b)的偏振方向的次级光学元件(EOM1或EOM2)和根据其偏振方向将相应激光光束导向输出激光光束(130a或160a)的次级偏振相关反射器(R1或R2)。进一步，本发明还提供一种激光加工装置，其包括如上所述的激光光束转换装置。

主权项

1.用于将基本线性偏振的输入激光光束(110a，210a)选择性地转换为第一输出激光光束(130a，230a)或第二输出激光光束(160a，260a)的装置，包括●初级光学元件(EOM)，用于选择性地旋转所述输入激光光束(110a，210a)的偏振方向，●在所述初级光学元件(EOM)的下游的初级偏振相关反射器(R)，所述初级偏振相关反射器被这样构造，使得-入射激光(110b，210b)在第一方向(S)上偏振的部分可被导向第一光路(120a，220a)，并且-入射激光(110b，210b)在第二方向(P)上偏振的部分可被导向第二光路(150a，250a)，●设置在所述第一光路(120a，220a)中的第一次级光学元件(EOM1)，用于选择性地旋转被导向所述第一光路(120a，220a)的激光的偏振方向，●在所述第一次级光学元件(EOM1)的下游的第一次级偏振相关反射器(R1)用于空间地分离两个在不同方向(S，P)上偏振的第一光束部分，其中所述两个第一光束部分中的其中一个表示第一输出激光光束(130a，230a)，●设置在第二光路(150a，250a)中的第二次级光学元件(EOM2)用于选择性地旋转被导向所述第二光路(150a，250a)的激光的偏振方向，以及●在所述第二次级光学元件(EOM2)的下游的第二次级偏振相关反射器(R2)用于空间地分离两个在不同方向(S，P)上偏振的第二光束部分，其中所述两个第二光束部分中的其中一个表示第二输出激光光束(160a，260a)。